气是仅次于电力的第二大动力能源，其应用范围普及各个行业。三坐标丈量机的正常运转离不开气浮轴承，因而需求紧缩空气。紧缩空气的质量直接影响三坐标测量仪的正常工作及运用寿命，不理想的是气源中含有相当数量的杂质。

主要分为三类，即水，油和尘；,其中大约80%在尺寸上小于2μm,空压机吸气过滤器无力消弭。此外，空压机系统内部也会不时产生磨屑、锈渣和油的碳化物，它们将加速用气设备的磨损，招致密封失效或梗塞。

水份大气中相对湿度普通高达65%以上，经紧缩冷凝后，即成为湿饱和空气，并夹带大量的液态水滴，它们是管道和阀门、三坐标测量仪等设备锈蚀的基本缘由，冬天结冰还会阻塞气动系统中的小孔通道。值得留意的是：即便是别离洁净的纯饱和空气，随着温度的降低，仍会有冷凝水析出，大约每降低10℃，其饱和含水量将降落50%,即有一半的水蒸气转化为液态水滴。

油份紧缩机类型分为活塞式，螺杆式；大局部空压机是采用光滑油来光滑和冷却其运动部件（如螺杆、活塞等）的，但污染了紧缩空气。在空压机内光滑油与高温的紧缩空气直接接触，紧缩空气中的油污以"油滴"、"油雾（气溶胶）"和"油蒸气"三种方式存在。被从压机内带到供气系统中的油在任何状况下都没有益处。

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